一种新型真空镀膜设备的视窗装置

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本实用新型公开了一种新型真空镀膜设备的视窗装置，包括视窗腔体，视窗腔体上设有冷却水管，所述视窗腔体外侧端设有玻璃安装框架，玻璃安装框架安装有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃内侧粘贴有一块普通玻璃。所述普通玻璃的厚度为3～5mm。所述普通玻璃的直径小于线mm。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型的视窗装置配置灵活，工作性能稳定，较大幅度提高了真空密封玻璃的使用寿命。

一种新型真空镀膜设备的视窗装置，其特征在于：包括视窗腔体，视窗腔体上设有冷却水管，所述视窗腔体外侧端设有玻璃安装框架，玻璃安装框架安装有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃内侧粘贴有一块普通玻璃。

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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆